關於中微 <\/b>MOCVD <\/b>設備 <\/b>Prismo D-Blue®<\/b><\/p> \n
中微 MOCVD 設備 Prismo D-Blue® 可以實現複雜的氮化鎵、銦鎵氮、鋁鎵氮超薄層結構的大批量生產，這些超薄層結構對於高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD 設備不僅具有精準的參數控制、全自動化處理和獨特的精密設計等優點，而且擁有高良率、高產能和低投入成本的特性，是 LED 晶片製造過程中必不可少的新一代 MOCVD 設備。<\/p> \n
中微具有自主知識產權的 MOCVD 設備可容納多達4個反應室，每個反應室都可以獨立運行，這一創新設計可以實現卓越的生產靈活性，也就是說，它可以以獨立或者連續模式運行，減少了交叉污染的可能性，保證了晶體的高品質，這是先進的 LED 器件所必需的。中微 MOCVD 設備在佔地面積上也有相當的優勢，它比競爭者的單反應室機台的佔地面積小了近30%，因此，Prismo D-Blue® 對於目前的 LED 生產線無疑是個絕佳選擇。<\/p> \n
中微 MOCVD 設備 Prismo D-Blue® 可同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，且製程能力能延展到生長6英寸和8英寸磊晶晶片。除了配置有可使製程靈活性最大化的多反應室之外，Prismo D-Blue® 在每個關鍵性能指標上表現都十分出色。在整個磊晶晶片加工過程中，Prismo D-Blue® 很少需要調整製程參數，並能夠持續表現出很好的重複性和優異的片內和片與片之間的均勻性。磊晶晶片加工的過程對於反應室表面的條件、化學氣體環境、溫度轉換控制和其他可變因素都極為敏感，因此在這種加工過程中，能達到持續的重複性確實有它獨到的一面。<\/p> \n
極高的可靠性是 Prismo D-Blue® 的另一關鍵優勢。中微通過對製程參數現場即時的監控實現了高可靠性。這種高可靠性得益于一系列複雜的軟體程式、先進的傳輸模組、流程自動化和控制技術——這同樣也是使得中微的半導體前端加工設備被業界廣為認可的技術。<\/p> \n
Prismo D-Blue® 還被進一步最佳化以方便使用者更易操作與維護。這對於一個發展迅速並看重成本的 LED 晶片製造商來說是至關重要的。卓越的加工性能和正常可執行時間可以拉大服務之間的差距，而新穎的設計特點則能夠使得設備維護更加簡便易行。同時，自動化、可程式設計的維護程式使得反應室開關操作更加安全、快捷、可預測並且不易出錯。<\/p> \n
Prismo D-Blue® 目前已擁有100多項專利（包括授權和未授權專利）以保護其獨特的創新性。此外，它還遵循了半導體製造規則並完全符合 SEMI 標準。<\/p> \n
Prismo D-Blue 是中微公司的註冊商標。<\/p> \n
*Yole Developpement 于2014年4月發佈的《LED 前端設備市場報告》（《LED front-end equipment market report》）。<\/p> \n
關於中微半導體設備有限公司<\/b><\/p> \n
中微公司致力於為全球積體電路和LED晶圓製造商提供領先加工設備的製程技術解决方案。中微通過創新驅動自主研發的等離子體蝕刻設備和矽穿孔蝕刻設備已在國際主要晶片製造和封測廠商的生產線上廣泛應用於45奈米到1X奈米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區30多條國際領先的生產線上運行的中微蝕刻反應台已超過350個。中微開發的用於量產LED磊晶片和功率器件生產的MOCVD設備也已經在中國多條生產線上正常運行。<\/p> \n
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