SEMATECH與Exogenesis形成戰略聯盟

麻省比爾里卡2015年5月5日電 /美通社/ -- 美國半導體製造技術戰略聯盟 (SEMATECH) 和 Exogenesis Corp. 已經達成戰略聯盟，共同推廣Exogenesis的Accelerated Neutral Atom Beam（加速中性原子束，簡稱「ANAB」）和他們的nAcceltm加速粒子束設備平臺。SEMATECH總裁兼CEO Ron Goldblatt博士表示：「芯片行業正處於原子尺度處理時期。使用正在開發的ANAB將支持更好的控制和更高的製造效率，同時為半導體裝置打開新功能。」

SEMATECH和Exogenesis將建立一個新公司，為半導體行業將ANAB技術推向市場。除了最初的關注集成電路製造之外，雙方還將在其它納米電子領域開發ANAB應用，這可能會形成更多公司。

ANAB技術是在深度為幾納米的情況下修改和控制具有原子級控制曲面的獨特方法，已獲得專利。Exogenesis總裁兼CEO表示：「其它技術無法達到ANAB的性能效果。」化學修飾、材料去除與沉積、曲面光順以及表面形態控制都有可能通過ANAB平臺實現。

ANAB已經被用於對藥理及生物相容性進行精確控制的生物醫學領域，以及支持更安全、有效的可植入醫療設備的開發。事實證明，ANAB能夠為包括玻璃、金屬、有機、半導體和聚合材料等各種材料界面帶來好處。

SEMATECH企業發展總監Ed Barth博士表示：「"SEMATECH和 Exogenesis自2013年以來已經作為SEMATECH項目的一部分開始合作，支持半導體行業採用Extreme Ultraviolet Lithography(極紫外光刻技術，簡稱EUVL)。」「雙方已經展示和公佈了ANAB技術在提高薄矽膜透明度方面的價值，可以顯著提升EUV膜的性能。」 Exogenesis與SEMATECH的其它工作表明ANAB處理支持EUV掩模基板的光順水平質量比傳統方法更卓越，提高了通過他們創造的掩模坯的光學性能。這些結果發佈於2014年。

位於紐約州奧爾巴尼的Exogenesis工廠以及NanoTech Complex of SUNY Polytechnic Institute的Colleges of Nanoscale Science and Engineering (SUNY Poly CNSE)將持續進行開發工作。因此，這個戰略聯盟能夠利用SUNY Poly CNSE的先進資源以及NanoTech Complex全球公認的實力為市場快速帶來新創新，提高先進的納米電子學的質量、可靠性與性能。

SEMATECH簡介。總部位於美國紐約州奧爾巴尼，SEMATECH是由領先的半導體裝置、設備和材料製造商組成的國際聯盟。SEMATECH幫助其成員與合作夥伴進行重要產業轉變，推進形成技術上的一致意見，將研究推入業內主流軌道，提升生產效率，降低風險和縮短產品上市時間。SEMATECH與SUNY Polytechnic Institute合作，將世界級能力、深厚專長以及公認的合作研發模式帶入納米電子學、清潔能源和高級材料等各種領域。有關SEMATECH的信息可登錄www.sematech.org查看。

Exogenesis簡介。總部位於美國麻省比爾里卡，Exogenesis是一家私募股權資本支持的公司，已經開發出幾款加速粒子束處理技術，用於修改和控制沒有使用圖層的界面。該公司專有的ANAB和 Gas Cluster Ion Beam (GCIB)技術用於各種生物醫學、光和半導體材料的表面改性與控制。有關Exogenesis的詳情可瀏覽www.exogenesis.us。