Unity-SC展示在砷化鎵基板上檢測非散射性潛在致命缺陷的獨有能力

法國GRENOBLE 2019年7月19日 /美通社/ -- 過去十年來，由於具有獨一無二的光學和電氣特性，並且具備生產線上測試，和可製造性上面的高度優勢，VCSEL在眾多領域吸引了越來越多的關注。大部分VCSEL基於紅光到紅外波長的砷化鎵晶圓，如今被廣泛地用於雷射雷達和3D識別技術。由於汽車領域的應用，雷射雷達市場現在迅速發展，對不會出現故障的設備的需求也同步迅速增長。3D感測也帶來了一個非常大的市場，智慧手機製造商現在為進行人臉識別而嵌入此類感測器。因此，對高品質、高可靠性的砷化鎵檢測系統的需求，一直都在增長。

除了常見的SSIS和AOI系統以外，在檢測其它方法所無法看見的表面形貌缺陷方面，Unity^SC也展現了獨特能力。由於不會對光進行散射/吸收，而且只能透過其表面形貌情況進行識別，這些缺陷在標準光學檢測系統中不可見。雖然這些缺陷對基板本身的結構品質影響不大，但是它們卻能導致在流程後期讓設備出現故障。例如，在生產Bragg光柵反射器期間，這些表面形貌的缺陷能讓Bragg週期出錯，在某些特定情況下，還會出現應力誘導裂紋。這些故障會在製造過程中，或系統交付後，遇熱/遇壓時出現，導致整個系統出現故障。

借助被嵌入LIGHTsEE™系列中的Phase Shift Deflectometry（PSD）技術，能夠輕鬆地檢測出這些缺陷。PSD能夠提供高度靈敏度低於5奈米的整片非接觸式高輸送量解決方案。由於無需移動基板就能進行檢測，新技術不會產生應力，而且適用於任何脆弱的基板。

這種技術在一位主要VCSEL製造商上面進行了展示，並且能透過系統性地抑制由此類缺陷所影響的裸片問題，提升良率和降低設備故障率。因此，透過在未來的品質控制中使用PSD，VCSEL製造商能更進一步提升良率，改進供應鏈。

Unity^SC簡介

Unity^SC總部位於法國Montbonnot，是全球公認的檢測和計量領導者，將先進的自動光學檢測和3D成像技術，與深入的焦點線掃描、時間模式干涉測量，光譜測量，和相移分析結合在一起。讓客戶提升良率和加快產品上市速度。我們根據具體的產業需求和規定，提供標準和定制解決方案，由此開啟工藝控制的新時代。詳情請參考：unity-sc.com。

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Unity Semiconductor SAS
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