SPTS 科技為中國科學院上海微系統與信息技術研究所 (SIMIT) 裝置其公司在中國的第一套氫氟酸蒸汽釋放蝕刻系統

幹法蝕刻技術將應用於製造微機電系統加速計

英國紐波特 2012年3月21日電 /美通社亞洲/ -- SEMICON China 2012 -- SPTS 科技是全球半導體行業和相關市場的高級晶圓加工解決方案供應商。公司今天宣佈裝置其公司在中國的第一套氫氟酸蒸汽 (VHF) 蝕刻系統。中國科學院上海微系統與信息技術研究所 (SIMIT) 將利用此 Primaxx^® Monarch 3 系統於微機電系統 (MEMS) 幹法釋放蝕刻應用。中國科學院上海微系統與信息技術研究所是隸屬於中國科學院 (CAS) 的綜合性研究院，從事基礎和應用研究。中國上海市中國科學院上海微系統與信息技術研究所的研究室將接受此系統。

氫氟酸蒸汽是微機電系統生產過程中一種用於去除犧牲氧化層的幹蝕刻劑法。由於傳統的濕法蝕刻會造成粘連，採用氫氟酸蒸汽蝕刻既防止裸露的鋁氧被化，又能滲透結構較小的部件。在傳統的濕蝕刻制程當中，微結構和襯層被拉扯的過程導致液體表面張力的腐蝕劑乾燥現象，造成粘連，並損壞設備結構。SPTS專屬的氫氟酸蒸汽方案避免了這些問題，從而提高器件良率。

中國科學院上海微系統與信息技術研究所的楊恒教授說：「在微機電加速計製造項目中，我們選擇 SPTS 的氫氟酸釋放系統，以幹法釋放步驟避免粘連，解決了傳統的濕法氫氟酸蝕刻中普遍存在的問題。SPTS 在極寬的工藝參數中所展示的穩定性和可重複性顯示出對其工藝的專業技術。我們也樂於依賴經驗豐富，能提供及時的本地客戶支持的合作廠商。」

SPTS Primaxx 產品部的高級總監兼總經理 Paul Hammond 說：「我們為此產品線建立在中國的第一個客戶這個里程碑感到驕傲。我們的專利幹法蝕刻技術用於滿足各種客戶需求 -- 從研發或試生產到全面微機電系統生產，都為我們的全球客戶（尤其是像中國這麼發展迅速的市場）做出提高產量的貢獻。」

Primaxx Monarch 3 系統具有一個 3 晶圓加工腔室，可以提高產量，同時還可以選擇晶圓加載選項。 可重複性的高產量晶圓製造工藝就意味著正常運行時間長，系統擁有成本低。

關於 SPTS Primaxx® 釋放蝕刻法

SPTS 為全球降壓幹法蝕刻系統領先供應商。此氧化物蝕刻步驟是用於微機電生產中關鍵的工藝。SPTS 採用的專利制程可以更好地控制反應，提高蝕刻均勻性，為結合無水氫氟酸氣體和降壓酒精蒸氣提供了一個廣泛的，穩定的工藝窗口，不但可以解決不同氧化成分和厚度，也同時保持較高的選擇性在微機電設計中常見的材料（如鋁）。Primaxx 的幹法釋放工藝還消除粘連，減少傳統的濕法技術中常見的量殺的現象。

關於 SPTS 科技

SPTS 科技(Bridgepoint 旗下股份公司)是一家致力於設計、製造、銷售和支持蝕刻、PVD、CVD、傳熱晶圓處理系統的公司。其科技的終端應付市場包括微機電系統 (MEMS)、高級封裝、LED、砷化鎵 (GaAs) 高速射頻器件和功率管理器件。該公司主要生產地包括英國紐波特，美國聖荷西和賓夕凡尼亞州阿倫敦鎮，業務遍及全球歐，美，亞，三大洲內十九個國家。欲瞭解有關 SPTS 科技的更多信息，請瀏覽 www.spts.com