EFC 推出經 Cymer 認證的氖氣回收系統，改變準分子鐳射的行業規則

麻薩諸塞州霍普金頓2023年12月4日 /美通社/ -- 特種氣體和高階材料領域的領先企業 EFC Gases & Advanced Materials（EFC）欣然宣佈推出經 Cymer 正式認證的氖氣回收系統，可用於準分子鐳射。氖在深紫外線（DUV）微影技術中扮演不可或缺的角色，尤其在鐳射光源生產中至關重要。這一突破性系統為終端使用者提供了長期穩定的氖價格，代表了 EFC 對可持續技術的高度承諾，有望改變稀有氣體和半導體產業的生態。

EFC 行政副總裁 Matt Adams 強調了氖氣回收系統在推動創新和可持續發展方面的作用。「該系統現已通過 OEM 認證，是準分子鐳射技術的一次重大飛躍，不僅提升運行效率，還極具環境效益。這讓我們實現利用化學和技術帶來積極變革的承諾。」Adams 先生還向 Cymer 表示感謝，強調雙方正共同合作建立一個更加可持續的半導體生態系統。

氖氣回收系統的主要特點包括： 

• 通過 OEM 認證的卓越品質：通過 OEM 認證的回收系統可無縫集成業界標準的準分子鐳射，並確保其可靠性和高效能。
• 穩定的氖價格：該系統是業界的一項創舉，透過捕捉和回收通常會被排出的鐳射氣，確保了氖價格的長期穩定和供應鏈的連續性，從而協助企業實現更好的財務規劃和營運效率。
• 減少碳足跡：氖回收可以抵消生產時產生的氖氣，在未來 20 年內，每個半導體工廠可減少超過 100 萬公噸的二氧化碳排放量。這符合半導體產業對可持續製造的承諾。

EFC Gases & Advanced Materials 總裁兼行政總裁 Pavel Perlov 表示了自己對此技術的熱忱：「我們新型氖氣回收系統的推出是穩定氖氣價格、確保氖氣供應（無論全球供應如何波動）的一項重要里程碑。本系統不僅是一種產品，它還證明了我們致力於提供解決方案，推動半導體產業走向負責任的未來。」

關於 EFC Gases & Advanced Materials

EFC Gases & Advanced Materials 是高純度電子氣體、高階材料和稀有氣體領域的領先企業，致力於在半導體製造、航空航天、照明和公用事業等關鍵產業中開創可持續發展技術。公司的全球採購標準和最先進的計量流程體現了我們追求卓越的承諾，確保產品的完整性和無與倫比的純度。我們的核心使命是透過創新的化學手段改變世界，提供有利於企業和地球可持續發展的解決方案。如欲進一步了解 EFC，請瀏覽 www.efcgases.com。